ru en

Вакуумные напылительные установки «ВАТТ 450ГЭ-ОПТИК», «ВАТТ 450МС» и «ВАТТ 450Пх» (компания "Ферри Ватт", Россия)

Установки обеспечивают возможность создания поверхностных наноструктур самыми распространенными способами - термическим напылением (распылением лазером горячей мишени, ВАТТ 450ГЭ), магнетронным распылением (в инертном газе без нагревания мишени, ВАТТ 450МС), а также осаждением из газовой фазы (т.е. методом газофазной эпитаксии, ВАТТ 450Пх).

Информация © 2015-2020 Университет ИТМО
Разработка © 2015 Департамент информационных технологий