ru en

Сканер поверхности пластин Surfscan 6200 Tencоr Instrument

Для автоматического измерения количества поверхностных дефектов гетероструктур может применяться промышленно выпускаемый сканер поверхности пластин Surfscan 6200 Tencоr Instruments.

Сканер поверхности позволяет бесконтактным способом быстро измерить общее количество и плотность дефектов на пластине, карту расположения дефектов и дефектов «haze» по поверхности пластины с координатной X-Y адресацией, гистограмму распределения количества дефектов по размерам.

Информация © 2015-2020 Университет ИТМО
Разработка © 2015 Департамент информационных технологий